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鸭脖官方网站_平台电子束光刻技术成功通过鉴定

时间:2021-11-30 15:35:18 作者: 鸭脖官方网站

2012年 11月10日,平台约请专家召开了“ 电子束光刻手艺判定暨钻研会”。国度天然科学基金委潘庆,华中科学年夜学副校长、武汉光电国度尝试室常务副主任骆清铭传授,校长助理、尝试室党总支书记林林博士,尝试室副主任谢永生传授等出席了判定会。北京年夜学工程师刘鹏,光电子微纳制造工艺平台书记黄鹰传授、主任夏金松传授、黄庆忠,能源光子学功能尝试室周军传授等加入了会议。

判定委员会专家构成员包罗中国科学院微电子研究所陈宝钦研究员、中国科学院半导体研究所余金中研究员、北京年夜学张年夜成传授、清华年夜学李群庆传授、中国科学院半导体研究所韩伟华研究员、中国科学院姑苏纳米手艺与纳米仿生研究所时文华副研究员。陈宝钦任专家组组长。

会议由夏金松主持。他对加入判定暨钻研会的专家暗示感激,并扼要介绍了在尝试室带领的撑持下,电子束光刻机的安装与运行环境。但愿列位专家可以或许赐与指点,帮忙平台进一步提高电子束暴光微纳加工手艺程度。

钻研会上,预会人员就电子束光刻手艺进行了深切钻研。陈宝钦、余金中、李群庆、韩伟华、刘鹏、时文华别离以《电子束光刻工艺中抗蚀剂的利用》、《硅基光子集成》、《半导体器件微纳加工手艺》、《电子束暴光利用功效报告请示——NanoBeam nB3电子束光刻机》、《微光刻/电子束工艺切磋》为题作了出色的陈述,与大师分享了各自的研究与利用功效。同时,平台夏金松、周军还环绕“ 片上光互连用硅基微纳光子器件”与“ 电容式能源转化和存储”进行了报告请示交换。

下战书,判定会正式进行。骆清铭起首颁发讲话,对电子束光刻手艺判定暗示接待,同时也特殊感激列位专家亲临指点。但愿可以或许借助判定会这类情势,经由过程专家的现场判定,总结经验,更好地增进平台成长。

黄庆忠具体报告请示了“ Vistec EBPG 5000+电子束光刻机”的工艺开辟与手艺办事环境。专家经听取手艺陈述、现场考查和充实会商后,认为平台已具有了微纳加工手艺的焦点竞争力,为微纳布局光电子器件的研制奠基了坚实的根本。 加工图形的极限宽度为7纳米,办事线宽为25纳米,写场拼接误差与套刻误差均小在15纳米。开辟出顺应分歧需求的正性、负性电子抗蚀剂的尺度光刻工艺,实现了硅基100纳米周期的光栅、Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体上200纳米周期的光子晶体和绝缘衬底上300纳米周期的光栅等器件布局制备。采取蒙特卡洛摹拟仿真电子束在抗蚀剂中的临近效应,并对电子束光刻图形进行有用的临近效应校订,在 1毫米× 1毫米规模内实现周期为400纳米的光栅图形中间与边沿区域的线宽误差小在10纳米。装备在验收后10个月内,已为校表里30多个用户供给了约300小时的加工办事,实现收入22万余元。

最后,判定委员会一致赞成经由过程判定。同时,为充实阐扬该系统的能力,专家建议完美微纳平台软硬件配套能力,如增添在线检测电镜,配备公道数目的工程手艺人员。

(责任编纂:詹健)

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